MTI Instruments MicroTrak 3:一維激光位移傳感器
發布時間:2021-06-03 17:10:40 瀏覽:1241
MTI Instruments高分辨率,高速激光位移傳感器(非接觸式線性位移傳感器)選用全新的CMOS傳感器技術,即便 是最艱難的檢測應用領域。MTI Instruments MicroTrak 3是全過程自動化、質量控制和工具自動化控制所必要的測量工具,如厚度檢測、二維位移、局部分析、振動試驗、累積檢測等。
特性
檢測速率高達40000/s;
全新CMOS傳感器技術-比競爭對手更好的線性度;
從高反射到暗表面的精確和可重復檢測;
提供鏡子和玻璃模型;
配備/數據采集軟件,DLL和可用的Labview驅動程序為數據采集和處理提供了極大的操作靈活性;
增益控制電路自動確定和調整不同類型表面所需要的理想激光功率;
可編程切割時間功能模塊–橋接功能模塊忽略對象上的孔和切割,以進行全過程間隙控制和檢測;
不需要控制器-內置5色位置指示器,適用于確定標稱激光間隙設置和距離放置,不需要控制器;
雙輸出–模擬和數字(RS-485和USB);
與Microtrak3基本支持軟件捆綁–采用PC實時監控間隙并控制設置參數;
數據導出-收集的數據能夠存儲在廣泛支持的(.CSV)格式;
軟件和windows?XP、Vista、Windows?7和Windows?8兼容的;
8個不同的腳手架模型–從25mm到300mm。測量范圍從2毫米到200毫米。分辨率低至0.04μm;
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P/N | Model | Measurement Range | Accuracy | Min. Range | Stand-Off | Resolution | Noise | Spot Size | Interface | Frequency Response |
8000-6471 | LTS-025-02 | 2mm (0.08″) | 0.03% FSO | 23.75mm (0.93″) | 25mm (0.98″) | 0.038 μm | 0.325 μm RMS | 30 μm | RS485 to USB | 20kHZ |
8000-6472 | LTS-025-04 | 4mm (0.16″) | 0.03% FSO | 22.5mm (0.88″) | 25mm (0.98″) | 0.076 μm | 0.650 μm RMS | 30 μm | RS485 to USB | 20kHZ |
8000-6473 | LTS-050-10 | 10mm (0.39″) | 0.03% FSO | 43.75mm (1.71″) | 50mm (1.95″) | 0.191 μm | 1.625 μm RMS | 36 μm | RS485 to USB | 20kHZ |
8000-6474 | LTS-050-20 | 20mm (0.78″) | 0.03% FSO | 37.5mm (1.46″) | 50mm (1.95″) | 0.382 μm | 3.250 μm RMS | 36 μm | RS485 to USB | 20kHZ |
8000-6475 | LTS-120-20 | 20mm (0.78″) | 0.03% FSO | 107.5mm (4.19″) | 120mm (4.68″) | 0.382 μm | 3.25 μm RMS | 100 μm | RS485 to USB | 20kHZ |
8000-6476 | LTS-120-40 | 40mm (1.56″) | 0.03% FSO | 95mm (3.71″) | 120mm (4.68″) | 0.763 μm | 6.5 μm RMS | 100 μm | RS485 to USB | 20kHZ |
8000-6477 | LTS-200-100 | 100mm (3.9″) | 0.03% FSO | 137.5mm (5.36″) | 200mm (7.8″) | 1.907 μm | 16.5 μm RMS | 100 μm | RS485 to USB | 20kHZ |
8000-6478 | LTS-300-200 | 200mm (7.8″) | 0.03% FSO | 175mm (6.83″) | 300mm (11.7″) | 3.815 μm | 32.5 μm RMS | 130 μm | RS485 to USB | 20kHZ |
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L67100B調諧器是Focus Microwaves的Delta系列機電調諧器,專為高頻晶圓測量設計,頻率范圍10 GHz至67 GHz,采用1.85mm連接器,最大VSWR為25.4:1,諧波調諧范圍10:1至50:1,最大功率14瓦,重復性-40至-50 dB,長度13.921英寸。其緊湊設計減少了占地面積和重量,提高了調諧范圍,同時保持便攜性,適用于晶圓級高頻測量。
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